特許
J-GLOBAL ID：200903019138500606
光学機能素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267272
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070953
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 酸化金属または酸窒化金属の透光性材料内に微小金属を均一に分散させた光学機能素子を得る。【構成】 マイクロ波CVD法により透光性材料の膜を合成する反応室Aの上方位置に、高周波誘導プラズマ発生装置10を設け、このプラズマ発生装置10により発せられたプラズマ中に金属原子を含む液体を供給して尾炎部Bにて金属クラスターを生成する。この金属クラスターを、反応室A内にて合成する前記膜32中に分散させて介在させ、透光性材料中に微小金属が均一に分散した光学機能素子を製造する。
請求項（抜粋）：
透光性材料の膜を合成する反応室の上方位置に超高温によるプラズマ発生手段を設け、このプラズマ発生手段により発せられたプラズマ中に金属原子を含む液体を供給して金属クラスターを生成し、前記反応室内にて合成する前記膜中にこの金属クラスターを分散させて介在させることを特徴とする光学機能素子の製造方法。
IPC (2件)：
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