特許
J-GLOBAL ID:200903019140164419

波長選択素子およびこれを使用した光学装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-135200
公開番号(公開出願番号):特開平11-326633
出願日: 1998年05月18日
公開日(公表日): 1999年11月26日
要約:
【要約】【課題】 低損失の波長選択素子およびこれを使用した低損失、組み立て容易な光学装置を提供する。【解決手段】 薄膜構造が、A=[(HL)MsH(LH)M]NW、或いはB=[(LH)MsL(HL)M]NWである波長選択素子。但し、A、B:誘電体多層薄膜、λc:設計波長、H:誘電体薄膜厚λc/4nHL:誘電体薄膜厚λc/4nL、M:両薄膜の積層繰り返し回数、N:Mの更なる返し回数、W(=tH、tL):付加層、M、N、s:正の整数、t:0. 1ないし0. 9。
請求項(抜粋):
基板表面に屈折率nH の誘電体薄膜および屈折率nL の誘電体薄膜を交互に積層形成した誘電体多層薄膜を有する波長選択素子において、薄膜構造が、A=[(HL)MsH(LH)M]NW或いは、B=[(LH)MsL(HL)M]NWであることを特徴とする波長選択素子。但し、A、B:誘電体多層薄膜λc:設計波長H:誘電体薄膜厚λc/4nHL:誘電体薄膜厚λc/4nLM:両薄膜の積層繰り返し回数N:Mの更なる返し回数W(=tH或いはtL):付加層M、N、s:正の整数t:0. 1ないし0. 9
IPC (5件):
G02B 5/28 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/46 ,  C23C 14/48 ,  H01S 3/1055
FI (5件):
G02B 5/28 ,  C23C 14/34 N ,  C23C 14/46 Z ,  C23C 14/48 D ,  H01S 3/1055
引用特許:
審査官引用 (4件)
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