特許

J-GLOBAL ID：200903019142909764

放電電極、放電装置、放電を利用した励起装置及び化学反応装置

発明者： 恩田 和夫 ,  土方 邦夫
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201183
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064338
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 非平衡放電を安定に維持し、放電励起・化学反応に利用する。【構成】 放電電極は、表面に薄膜からなる放電安定化負荷抵抗が設けられている。

請求項（抜粋）：

表面に薄膜からなる放電安定化負荷抵抗が設けられていることを特徴とする放電電極。

IPC (6件)：

H01T 23/00 ,  B01D 53/56 ,  B01D 53/74 ,  B01J 19/08 ,  C01B 13/11 ,  H01S 3/038

FI (2件)：

B01D 53/34 129 C ,  H01S 3/03 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-180703
  
• セラミックコート電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-302910   出願人：桜井正夫, 木村理平
• 特開平1-117240