特許
J-GLOBAL ID:200903019147473204

圧電素子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 筒井 秀隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-017564
公開番号(公開出願番号):特開平10-200366
出願日: 1997年01月14日
公開日(公表日): 1998年07月31日
要約:
【要約】【課題】分割電極間のショートを防止でき、接続信頼性の高い圧電素子を提供する。【解決手段】長さ方向振動モードを利用した圧電素子1であって、圧電基板2の一方の主面に長さ方向に延びる直線状の溝3によって分割された第1電極4と第2電極5a,5bとを有し、他方の主面に第3電極7を有する。第1,第2電極4,5a,5bのノード部分には、それぞれ導電性の支持部材6a〜6cが圧電基板2の長さ方向に間隔をあけて固定される。
請求項(抜粋):
長さ方向振動モードを利用した圧電素子であって、圧電基板の一方の主面に長さ方向に延びる直線状の溝によって分割された第1と第2の電極とを有するとともに、他方の主面に第3の電極を有しており、第1と第2の電極のノード部分には、それぞれ導電性の支持部材が圧電基板の長さ方向に間隔をあけて固定されていることを特徴とする圧電素子。
IPC (2件):
H03H 9/17 ,  H03H 3/02
FI (2件):
H03H 9/17 A ,  H03H 3/02 C
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平1-236719
  • 特開昭59-000212
  • 特開平2-224515
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