白金薄膜素子

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-379160
公開番号（公開出願番号）：特開2003-179276
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】白金測温抵抗体の抵抗値は通常100Ω,500Ωが一般的である。この抵抗値では1°Cあたりの抵抗値変化が小さく、高い分解能を必要とする測定や、リード線抵抗による誤差を避けるため3線あるいは4線式の抵抗測定をしなければならない。抵抗を高くし、より使いやすくしようとすると、形状が大きくなり,温度センサとして利用が限定されてしまう。【解決手段】この発明は白金測温抵抗体の薄膜型素子において、独立した薄膜型素子を、着膜面を内側にして貼り合わせ、各素子抵抗が直列接続になるように接続し、2素子の合計した抵抗値を得られるようにした。これにより、素子の幅、奥行、厚さの寸法を変えることなく、抵抗を大きくする事が出来る。

請求項（抜粋）：

2枚の白金薄膜素子を着膜面を内側にして貼り合わせ、各々の素子の抵抗が直列となるように、電気的接続を行う構成とした白金薄膜素子。

IPC (3件)：

H01L 37/00 , G01K 7/18 , H01C 7/02

FI (3件)：

H01L 37/00 , G01K 7/18 B , H01C 7/02

Fターム (6件)：

5E034AA09 , 5E034AB08 , 5E034AC12 , 5E034DA02 , 5E034DC02 , 5E034DD01

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