特許

J-GLOBAL ID：200903019148073900

走査型露光装置及び該装置を用いた露光方法

発明者： 佐藤 光弥
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101234
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293453
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 走査型露光装置において、スキャン状態における、レチクル投影像の位置、像面位置、倍率誤差を正確に計測する方法及び装置を提供することを目的としている。【構成】 第1物体であるレチクルを載置して移動する第1可動ステージと、第2物体であるウエハを載置して移動する第2可動ステージとを有し、前記第1、第2可動ステージを投影光学系に対し同期させて走査させ前記第1物体上のパターンを前記第2物体上に投影する走査型露光装置であって、前記第1物体上に形成された第1のマークと、前記第2可動ステージに固設され第2のマークを有する基準板と、前記第2可動ステージを載置し、前記第2可動ステージとは異なる方向に移動する第3可動ステージと、第3可動ステージに固設された光検出器とを有する。

請求項（抜粋）：

第1物体を載置して所定の1次元方向に移動する第1可動ステージと、第2物体を載置して所定の1次元方向に移動する第2可動ステージとを有し、前記第1、第2可動ステージを投影光学系に対し同期させて走査させるとともに前記投影光学系を介して前記第1物体上のパターンを前記第2物体上に投影する走査型露光装置において、前記第1物体上に形成され、走査方向に複数のマークが配列された第1のマークと;前記第2可動ステージに固設され、走査方向に複数のマークが配列された第2のマークを有する基準板と;前記第2可動ステージを載置し、前記第2可動ステージとは異なる方向に移動する第3可動ステージと;第3可動ステージに固設された光検出器と;前記第2、第3可動ステージを移動させて、前記投影光学系を介して投影される前記第1のマーク像の位置に、前記基準板と前記光検出器を位置させ、更に前記第1、第2可動ステージを投影光学系に対し同期させて走査させるとともに前記光検出器によって前記第1のマーク像を前記第2のマーク介して検出させる制御手段とを有することを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521