特許

J-GLOBAL ID：200903019154998339

動圧軸受装置および光偏向装置

発明者： 横田 正明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314367
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132224
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 動圧軸受の耐久性等を向上させる。【解決手段】 回転多面鏡R1 と一体である回転軸2の外周面と、これを嵌挿させるスリーブ1の内周面と、回転軸の端面2aと、これに対向するスラスト板3の表面にそれぞれ耐摩耗潤滑性被膜10a〜10dを設ける。各耐摩耗潤滑性被膜10a〜10dは、母材との境界面がタンタル、チタンまたは珪素であり、膜厚方向に炭素含有量が徐々に増加し、表面は耐摩耗性と潤滑性にすぐれた硬質炭素膜によって構成されており、軸受負荷が増大しても剥離を起こすおそれがない。

請求項（抜粋）：

相対的に回転自在に嵌合された軸およびスリーブと、前記軸または前記スリーブの端面に対向するスラスト板を有し、前記軸の外周面と前記スリーブの内周面がラジアル動圧軸受部を構成し、前記スラスト板の表面と前記軸または前記スリーブの前記端面がスラスト動圧軸受部を構成する動圧軸受装置であって、前記軸の前記外周面と前記スリーブの前記内周面と前記スラスト板の前記表面と前記軸または前記スリーブの前記端面が、それぞれ、炭素含有量が膜厚方向に連続的に変化する炭素系の耐摩耗潤滑性被膜によって被覆されていることを特徴とする動圧軸受装置。

IPC (2件)：

F16C 17/02 ,  G02B 26/10 102

FI (2件)：

F16C 17/02 A ,  G02B 26/10 102