特許
J-GLOBAL ID：200903019157580475
紫外線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350259
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192996
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 基板の下面への紫外線の照射を実現する。【構成】 チャンバ18の内部に、基板2を水平に保持する基板保持部材3が取り付けられている。基板保持部材3に載置された基板2の下方および上方に、それぞれ複数本の紫外線ランプ12、14が、所定のピッチをもって互いに平行に配列されている。このため、基板保持部材3に載置された基板2の上面だけでなく下面へも紫外線照射が行われる。突起部6によって基板2の下面の端縁部が支持されるので、基板2への微粒子による汚染が抑えられるとともに、基板2の下面における紫外線照射が効率よく行われる。アクチュエータ10によって基板保持部材3が揺動するので、基板2の上面および下面への照射が均一に行われる。【効果】 基板の下面へ効果的に紫外線が照射される。
請求項（抜粋）：
基板に紫外線を照射する紫外線照射装置であって、前記基板の下面を支持することによって当該基板を水平に保持する基板保持手段と、前記基板保持手段に保持された前記基板の下面に紫外線を照射する紫外線照射手段と、を備えることを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/26
, G03F 7/42
, H01L 21/304 341
