特許
J-GLOBAL ID：200903019157958826
2次元スキャナ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-228280
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068901
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】本発明は、光量ロスが少なく、しかも、スキャナ手段の回動(振り角)位置による画像ムラも防止できる2次元スキャナ装置を提供する。【解決手段】Yガルバノメータスキャナ15の振り角(回動角)に同期させて、超音波モータ17によるYガルバノメータスキャナ15の、Yガルバノミラー16への入射レーザビームと平行方向の直線移動量を制御することにより、Yガルバノミラー16を反射したレーザビームが、Y方向走査位置に影響されることなく、常にXガルバノミラー13の振り中心(回動中心)にくるように制御する。
請求項（抜粋）：
レーザ光源からのレーザビームを2次元方向に走査するとともに、該2次元走査されたレーザビームを対物レンズを通して試料に照射し、該試料からの観察像を検出する走査型レーザ顕微鏡において、前記対物レンズの瞳位置と共役関係にある位置に回動可能に配置され、該回動動作により前記レーザビームを所定方向に走査する第1のスキャナ手段と、この第1のスキャナ手段に対向して回動可能に配置され、該回動動作により前記第1のスキャナ手段を経由した前記レーザビームを前記所定方向と直交する方向に走査する第2のスキャナ手段と、この第2のスキャナ手段を経由したレーザビームが常に前記第1のスキャナ手段の回動中心を通るように該第2のスキャナ手段の回動角に応じて該第2のスキャナ手段を直線移動させる制御手段とを具備したことを特徴とする2次元スキャナ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/10 C
, G02B 21/00
