特許
J-GLOBAL ID：200903019159256101
フルモールド実装型加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-249033
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114622
出願日： 1994年10月14日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】自動車の車両制御システムやエアバッグシステムに適用可能な小型,低コストで表面実装に適した高性能な加速度センサを提供すること。【構成】加速度センサの気密型検出部構造体とディジタル調整機能付き信号処理回路をリードプレーム上に固定し、検出部構造体,信号処理回路およびリードフレーム間のワイヤボンディングを行った後、その周囲へプラスチック材料を完全にモールドする。
請求項（抜粋）：
シリコン板をエッチング加工してビームで支持されたマスを形成し、前記マスの変位をマスに対向して配置した固定電極とマスとの間の静電容量の変化あるいはビームに配置した歪ゲージの抵抗値変化から加速度を検出できる加速度検出部構造体と有し、前記検出部構造体をプラスチック材料で完全にモールド実装する方式の加速度センサにおいて、前記マスとビームからなる検出部構造体自体が完全に気密構造であり、検出部構造体とプラスチック材料との間の熱膨張係数の差による熱応力によって引き起こされる検出部構造体自体の変形を極小化するように検出部構造体あるいは検出部構造体を囲むプラスチック構造体に熱応力緩和機構を設けたことを特徴とするフルモールド実装型加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01P 15/12
, H01L 29/84
