特許

J-GLOBAL ID：200903019165937838

多結晶質シリコンの製造に使用するガラス質炭素被覆グラファイトチャックおよびその製造方法

発明者： アーウィン、チャールズ、ルイス ,  テレンス、アンソニー、ピロ ,  ダグラス、ジェー、ミラー
出願人/特許権者： ユーカー、カーボン、テクノロジー、コーポレーション
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230585
公開番号（公開出願番号）：特開平5-213697
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 特に、グラファイトチャックを使用した時に製造工程中に多結晶質シリコン棒に取り込まれることがある炭素汚染物の量を低減、またはなくす。【構成】 スターターフィラメント16上にシリコンが堆積する様に、気体状のケイ素化合物を熱的に分解する加熱されたスターターフィラメントを支持するためのグラファイトチャック10であって、炭素を含まない多結晶質シリコンを製造できる様に、そのグラファイトチャックが、熱硬化性有機樹脂から形成されたガラス質炭素の外側被覆層12を備え、その被覆層により、グラファイトチャック内部と、気体状ケイ素化合物の分解工程から生じた副生成物との反応が防止される。

請求項（抜粋）：

スターターフィラメント上で気体状ケイ素化合物を熱分解することによる多結晶質シリコン棒の製造における、細長いスターターフィラメントを取り付けるのに適したグラファイトチャックであって、前記グラファイトチャックが、熱硬化性有機樹脂から形成されたガラス質炭素の外層を有することを特徴とする、グラファイトチャック。

IPC (3件)：

C30B 29/06 ,  C01B 33/02 ,  C04B 41/87