分光測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334064
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145476
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】被測定試料全体又は一部の広い領域の平均測定値を得る場合に測定時間を短縮しつつ正確な測定値を得る。【解決手段】二次元分光の測定時、モータ駆動回路5は、CCDイメージセンサ17が1フレームの画像を得るに必要な時間に同期してパルスモータ4を駆動し、これにより測光ユニット10はX軸方向に連続的に移動される。CCDイメージセンサ17が1フレーム分の電荷蓄積を行なう間に、測光ユニット10は広い領域を走査するため、この領域の平均的な分光測定が行なえる。

請求項（抜粋）：

試料上の二次元領域を分光測定するための分光測定装置において、a)試料の一次元領域に光を照射するための光源手段と、b)複数の微小受光素子が二次元的に配置され、該受光素子が受光エネルギーに応じた電荷を蓄積することにより受光信号を得る光検出手段と、c)該光検出手段の一つの次元方向に前記試料の一次元領域像を投影させると共に他の次元方向に光を分散させるための分光手段と、d)前記光源手段、前記光検出手段及び前記分光手段から成る測光部と試料とを前記試料の一次元領域に直交する方向に相対的に移動するために、該測光部又は試料を載置する試料台のいずれか一方を連続的に移動させる移動手段と、e)所望の分解能に応じて前記移動手段の移動速度を変えるべく、前記光検出手段において1フレーム分の画像信号を得るための周期に同期した駆動信号を生成する駆動手段と、を備えることを特徴とする分光測定装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-226028
特開平2-123476
特開平3-273896

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