特許
J-GLOBAL ID：200903019173547062
レーザ装置、及びそれを用いた投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163152
公開番号（公開出願番号）：特開平6-350179
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 レーザ光を放射させる透過窓材の曇り、ホコリの付着などによる経時的な光学的性質の変化の測定可能なレーザ装置、及びそれを用いた投影露光装置を提供すること。【構成】 ガス状の媒質を封じ込めたレーザガス容器のレーザ光束を取り出して放射させる透過窓材に、参照光源から参照光を照射し、該透過窓材を介した参照光の光束断面を撮像素子で検出し、該撮像素子からの出力信号を利用して該透過窓材の光学的性質の経時変化を検出すること。
請求項（抜粋）：
ガス状の媒質を封じ込めたレーザガス容器に設けられた透過窓材を介してレーザ光束を放射するレーザ装置において、該透過窓材に参照光源からの参照光を照射手段により照射し、該参照光の光束断面を該透過窓材を介して撮像素子で検出し、該撮像素子からの出力信号を利用して該透過窓材の光学的性質を測定することを特徴とするレーザ装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
