特許

J-GLOBAL ID：200903019174375389

レーザ装置

発明者： 土屋 満男 ,  若林 理 ,  天田 芳穂
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-315674
公開番号（公開出願番号）：特開平6-152020
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】 半導体露光装置の光源として使用されるエキシマレーザ装置の光学系を高精度に設置でき、交換が容易なレーザ装置とする。【構成】 フロント側共振器プレートとリア側共振器プレートをレーザチャンバを挟んで複数本のロッドで固定し、フロント側光学系およびリア側光学系をそれぞれ一つの筺体に囲い、両共振器プレートに固定する。フロント側またはリア側の筺体をレーザの光軸に対して略垂直方向に移動可能とし、フロント側またはリア側の筺体をレーザの光軸と一致させて設置する手段を備える。フロント側光学系は少なくともフロントミラーを含み、リア側光学系は少なくともリアミラーまたはグレーティングまたはビームエキスパンダまたはエタロンを含む。フロント側またはリア側の筺体をレーザ光軸と一致する位置からレーザの光軸に対し略垂直方向への移動は共振器プレートにガイドを設け、筺体にスライダを設ける。

請求項（抜粋）：

フロント側共振器プレートとリア側共振器プレートをレーザチャンバを挟んで複数本のロッドで固定する手段と、フロント側光学系およびリア側光学系をそれぞれ一つの筺体に囲い、両共振器プレートに固定する手段と、フロント側またはリア側の筺体をレーザの光軸に対して略垂直方向に移動可能とする手段と、フロント側またはリア側の筺体をレーザの光軸と一致させて設置する手段を備えたことを特徴とするレーザ装置。