特許

J-GLOBAL ID：200903019178757863

基板処理装置

発明者： 原田 明
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-248709
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087456
出願日： 1997年09月12日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 上下方向の空間を有効に利用することにより設置面積を低減することができる基板処理装置を提供することである。【解決手段】 搬送領域Cの周囲を取り囲むように処理領域Aが配置され、処理領域Aの一部に受け渡し領域Bが配置される。処理領域Aは上部処理空間A1および下部処理空間A2を含む。上部処理空間A1には複数の基板処理ユニット201が複数段に配置され、下部処理空間A2にも複数の基板処理ユニット202が複数段に配置される。上部処理空間A1および下部処理空間A2に対応して上部搬送空間C1および下部搬送空間C2が配置される。上部搬送空間C1には基板搬送ユニット101が設けられ、下部搬送空間C2には基板搬送ユニット102が設けられる。各基板搬送ユニット101,102は伸縮昇降機構4を含む。受け渡し領域Bには基板を上下方向に搬送する昇降装置300が設けられる。

請求項（抜粋）：

搬送領域とその搬送領域の周囲に配置された処理領域とを有する基板処理装置であって、前記処理領域に設けられ、基板に所定の処理を行う複数の処理部と、前記搬送領域に設けられ、当該搬送領域で基板を搬送するとともに前記処理領域の処理部に対して基板の搬入および搬出を行う搬送手段とを備え、前記搬送手段は、基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部を鉛直方向に移動させるために上下に伸縮する伸縮昇降機構からなる駆動部とを含むことを特徴とする基板処理装置。