特許

J-GLOBAL ID：200903019192525886

振動・衝撃警報装置

発明者： 井上 直久 ,  中村 君彦
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 青木 輝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-236185
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330620
出願日： 2000年08月03日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 製造工程での歩留まりの改善、パーティクルの発生の防止及びヒューマンエラーの防止ができて半導体製造工程・液晶製造工程で使用可能な振動・衝撃警報装置を提供する。【解決手段】 発生する信号を検出する振動センサ4と、振動センサ4が検出した振動データを取り込んで、この振動データの振動成分S-1及び衝撃成分S-2のそれぞれの値が閾値以下か以上であるかを判定する判定回路部24と、判定回路部24で振動データの振動成分S-1及び衝撃成分S-2のそれぞれの値が閾値以上の場合に音声発生器19に出力する出力回路部25とを備え、振動データの振動成分S-1及び衝撃成分S-2のそれぞれの値が閾値以上の場合に警報を発するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

発生する信号を検出する振動検出手段を有し、この振動検出手段で検出された振動データを取り込んで信号処理手段により信号処理を行い、前記振動データの値が閾値以上の場合に警報を発するようにした振動・衝撃警報装置であって、前記信号処理手段が、前記振動検出手段で検出された前記振動データを取り込んで、前記振動データの振動成分及び衝撃成分のそれぞれの値が前記閾値以下か以上であるかを判定する判定回路部と、前記判定回路部で前記振動データの前記振動成分及び前記衝撃成分のそれぞれの値が前記閾値以上の場合に警報手段に出力する出力回路部とを備えたことを特徴とする振動・衝撃警報装置。

IPC (3件)：

G01P 15/00 ,  G08B 21/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G08B 21/00 B ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  G01P 15/00 E ,  G01P 15/00 C

Fターム (25件)：

5C086AA32 ,  5C086AA60 ,  5C086BA20 ,  5C086CA02 ,  5C086CA21 ,  5C086CA23 ,  5C086CB20 ,  5C086DA01 ,  5C086DA04 ,  5C086DA08 ,  5C086EA08 ,  5C086EA11 ,  5C086EA23 ,  5C086EA31 ,  5C086FA02 ,  5C086FA16 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA03 ,  5F031GA36 ,  5F031GA57 ,  5F031JA01 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031PA26