特許
J-GLOBAL ID：200903019206117042
走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-034781
公開番号（公開出願番号）：特開2004-246003
出願日： 2003年02月13日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】音響光学素子を用いることなく、高速でビーム偏向することができる走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明による走査顕微鏡では、周波数走査方向にビーム偏向を行う装置としてマイクロミラーアレイ(2)を用いると共に受光装置としてリニァイメージセンサ(16)を用いる。マイクロミラーアレイ(2)の全てのマイクロミラーを同一の向きでほぼ同一の周波数で回動させる。ディジタルマイクロミラーは価格が音響光学素子よりも安価であり、しかも条件設定が容易であるため、走査顕微鏡の請求項装置コストを安価することができる。さらに、リニァイメージセンサは電荷蓄積能力を有しているので、一部のマイクロミラーが規定の回動速度から変移しても画像上不具合を生じない利点がある。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
走査ビームを発生する光源と、光源から発生した走査ビームを主走査方向に偏向する第1のビーム偏向装置と、第1のビーム偏向装置により偏向された走査ビームを主走査方向と直交する副走査方向に偏向する第2のビーム偏向装置と、第2のビーム偏向装置を通過した走査ビームを微小スポット状に集束して試料に向けて投射する対物レンズと、前記主走査方向と対応する方向に配列された複数の受光素子を有し、試料で反射し又は透過した光ビームを受光するリニァイメージセンサとを具え、微小スポット状に集束した走査ビームにより試料を2次元走査し、前記試料からの反射光又は透過光を前記第2のビーム偏向装置を介してリニァイメージセンサに入射させて試料像を撮像する走査型顕微鏡において、
前記第1のビーム偏向装置は、複数のマイクロミラーが2次元アレイ状に配列されたマイクロミラーアレイを有し、各マイクロミラーが全体として同一の向きにほぼ同一の周波数で回動することを特徴とする走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2H052AA07
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
, 2H052AD34
, 2H052AF06
, 2H052AF14
, 2H052AF21
