特許

J-GLOBAL ID：200903019207277477

プレーナ光導波路形レーザ素子及びレーザ装置

発明者： 篠崎 啓助 ,  上條 健
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084291
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291655
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 レーザ活性体となる元素が添加されているプレーナ形光導波路を用いたレーザ素子であって他の素子との集積化に適したものを提供する。【構成】 シリコン基板21上にSiO2 膜から成るバッファ層23を設ける。このバッファ層23上にエルビウム添加のP2 O5 -SiO2 膜から成るストライプ状の光導波路であってイオン交換部分25aを周期的に具える光導波路25を設ける。この光導波路25上にこれを覆うSiO2 膜から成るキャップ層27を設ける。【効果】 光導波路25の周期的屈折率分布構造によりこのPLCレーザ素子は単一波長で発振し、また発振光を励起光(ポンプ光)と分離して出力する。半導体レーザ素子との集積化が容易になる。

請求項（抜粋）：

レーザ活性体となる元素が添加されているプレーナ形光導波路を基板上に具える、プレーナ光導波路形レーザ素子において、プレーナ形光導波路に周期的屈折率分布構造を作りつけてあることを特徴とするプレーナ光導波路形レーザ素子。

IPC (4件)：

H01S 3/08 ,  H01L 27/15 ,  H01S 3/094 ,  H01S 3/098

FI (2件)：

H01S 3/08 Z ,  H01S 3/094 S