特許
J-GLOBAL ID：200903019214269560
コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-303322
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142260
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 ICやLCD等のコンタクト用パッドとの位置合わせの容易なコンタクトプローブを提供すると共に、その製造コストの低減を図り、針先の交換や針圧の変更などのメンテナンスの容易なコンタクトプローブを提供する。【解決手段】 複数の第1のパターン配線3、3がフィルム2上に形成され、これらのパターン配線3、3の各先端3aがフィルム2から突出状態に配されてコンタクトピンとされる第1のコンタクトプローブ1aと、第1のパターン配線3、3と接続される複数の第2のパターン配線3、3がフィルム2上に形成された第2のコンタクトプローブ1bとが、別個に形成されて連結されている。
請求項（抜粋）：
複数の第1のパターン配線がフィルム上に形成され、該フィルムの一方の先端部から、これらの第1のパターン配線の各先端が突出状態に配されてコンタクトピンとされる第1のコンタクトプローブと、前記第1のパターン配線と接続される複数の第2のパターン配線がフィルム上に形成された第2のコンタクトプローブとが、別個に形成されて連結されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
