特許

J-GLOBAL ID：200903019220889350

共焦点走査型微分干渉顕微鏡

発明者： 木村俊仁
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-062782
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224127
出願日： 1991年03月27日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】 高速走査が可能で、かつ、構成が簡単で安価に形成することができる共焦点走査型微分干渉顕微鏡を提供する。【構成】 送光光学系18と、受光光学系21と、微分干渉光学系を構成するウォラストンプリズム1、2とを一体的に移動台15に保持し、この移動台15を積層ピエゾ素子33により一方向に往復移動させ、照明光光点P1、P2を試料23上において主走査させる。

請求項（抜粋）：

試料が載置される試料台と、照明光を発する光源と、この照明光を試料上において微小な光点として結像させる送光光学系と、前記試料からの光束を集光して点像に結像させる受光光学系と、この点像を検出する光検出器と、微分干渉光学系と、前記送光光学系と受光光学系と微分干渉光学系とを一体的に保持する移動台と、 この移動台を、前記光点が前記試料上を一方向に主走査するように往復移動させる主走査手段と、前記移動台と試料台とを、前記主走査の方向とほぼ直交する方向に、該主走査の速度よりも低い速度で相対移動させて、前記光点を前記試料上において副走査させる副走査手段とからなる共焦点走査型微分干渉顕微鏡。