特許
J-GLOBAL ID：200903019221132570
液体材料気化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-294601
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132779
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 液体材料の温度を精密に制御しなくても、液体材料を安定に気化供給できる液体材料気化装置を提供することを目的とする。【構成】 気化させることによって用いられる液体材料の流量を制御する液体流量制御手段3と、液体流量制御手段3によって制御された液体材料を、超音波振動により霧状にするとともに、加熱気化させる気化手段8とを備えた液体材料気化装置である。
請求項（抜粋）：
気化させることによって用いられる液体材料の流量を制御する液体流量制御手段と、その液体流量制御手段によって制御された前記液体材料を、超音波振動により霧状にするとともに、加熱気化させる気化手段とを備えたことを特徴とする液体材料気化装置。
IPC (2件)：
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