特許

J-GLOBAL ID：200903019239883549

表面形状測定装置

発明者： 阿部 耕三 ,  井口 信明 ,  林 孝
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  黒田精工株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-010316
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218208
出願日： 1994年02月01日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 運動誤差を容易に補正でき、測定精度および測定作業能率の向上を図ることができる平面形状測定装置を提供する。【構成】 ベッド11と、ベッド面に平行なX軸ガイド14と、X軸ガイド14にX軸方向に移動可能に取り付けられたX軸スライダ15と、X軸スライダ送り装置16と、X軸スライダ15の位置を検出するX軸変位センサ17と、X軸スライダ15に取り付けられたZ軸変位センサ20と、ベッド上でY軸方向に被測定物Mを送る送り装置28とを備えた表面形状測定装置において、X軸スライダ15の運動誤差を検出する補正センサ24を被測定物の形状測定用Z軸変位センサ20とともにX軸スライダ15に設けている。

請求項（抜粋）：

ベッドと、ベッド面に平行なX軸ガイドと、X軸ガイドにX軸方向に移動可能に取り付けられたX軸スライダと、X軸スライダ送り装置と、X軸スライダの位置を検出するX軸変位センサと、X軸スライダに取り付けられたZ軸変位センサと、ベッド上でY軸方向に被測定物を送る送り装置とを備えた表面形状測定装置において、X軸スライダの運動誤差を検出する補正センサを被測定物の形状測定用Z軸変位センサとともにX軸スライダに設けたことを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 5/28 101 ,  G01B 5/28 102

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-224008
  
• 特開平1-098901
  
• 特開昭60-224008
  
• 特開平1-098901