特許
J-GLOBAL ID：200903019240427069
水平位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271498
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128035
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 検出領域の反射特性が変化することによって、光電検出器から出力される光電信号の強度(レベル)が変化しても、所定の基準面に対する基板の傾きを常に高精度に検出する。【構成】 光源(11)から基板(3)上の所定の検出領域に平行光束を照射し、その反射光を受光手段(20、30)に設けられた光電検出器(22)によって受光する。光電検出器(22)からの光電信号に基づいて予め定められた基準面に対する基板の傾きを検出する際、調整手段(31、35)は検出領域の反射特性の変化に対応して光電信号の強度の調整を行う。
請求項（抜粋）：
光源からの光束を基板上の所定の検出領域に平行光束として投射する投光手段と、前記基板表面で反射した光を受光する光電検出器を有するとともに、前記光電検出器からの光電信号に基づいて、前記反射光の受光位置の変化に応じた検出信号を出力する受光手段とを有し、前記検出信号に基づいて、予め定められた基準面に対する前記基板表面の傾きを検出する水平位置検出装置において、前記検出領域の反射特性の変化に対応して前記光電信号の強度を調整する調整手段を備えたことを特徴とする水平位置検出手段。
IPC (3件)：
G01B 11/26
, H01L 21/027
, H01L 21/68
