特許

J-GLOBAL ID：200903019242793780

現像装置

発明者： 吉井 弘至
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-309491
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152718
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 プリウエット液吐出ノズルおよびリンス液吐出ノズルに対する配管を共通化でき、しかも現像液供給ユニットの回動アームとリンス液供給ユニットの回動アームとが基板上で干渉することのない現像装置を提供することである。【解決手段】 プリウエット液吐出ノズル403は、リンス液吐出用ノズル402が設けられたリンス液供給ユニット400側に設けられている。従って、プリウエット液およびリンス液として同一の液体(例えば、純水)を使用する場合は、プリウエット液吐出ノズル403およびリンス液吐出用ノズル402に対する配管が共通化でき、設備コストが安くなる。しかも、リンス液供給ユニット400に含まれる回動アーム401は、基板の中心位置に最も接近する特定角度位置においても、その先端が基板の中心位置から所定距離だけ引退した状態にあるため、現像液供給ユニット300に含まれる回動アーム301と干渉することがない。

請求項（抜粋）：

基板表面に対して現像処理を行う現像装置であって、前記基板を載置し、当該載置された前記基板を回転させる基板回転手段、前記基板回転手段の近傍に設けられ、そこに載置された基板に対してプリウエット液およびリンス液を供給する第1の液供給ユニット、および前記基板回転手段の近傍に設けられ、そこに載置された基板に対して現像液を供給する第2の液供給ユニットを備え、前記第1の液供給ユニットは、前記基板と平行な面内を回動自在であり、前記基板の中心位置に最も接近する特定角度位置においても、その先端が前記基板の中心位置から所定距離だけ引退した状態にある第1の回動アームと、前記第1の回動アームの先端近傍に設けられ、当該第1の回動アームが前記特定角度位置にあるときに、前記基板の中心位置を狙うように、斜め下方に向けて位置決めされたプリウエット液吐出ノズルと、前記第1の回動アームの先端近傍に設けられ、垂直下方に向けて突出するリンス液吐出用ノズルとを含み、前記第2の液供給ユニットは、前記基板と平行な面内を回動自在であり、その先端が前記基板の中心位置に最も接近する特定角度位置において、その先端が前記基板の中心位置のほぼ直上にある第2の回動アームと、前記第2の回動アームの先端近傍に設けられ、垂直下方に向けて突出する現像液吐出ノズルとを含む、現像装置。

IPC (3件)：

G03F 7/30 502 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/30 502 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/30 569 C