特許
J-GLOBAL ID：200903019243637099
表面疵の検出方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091695
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294455
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 鋼板表面などに発生し、通常の光学式の疵検出器では検出できない、模様状の疵を検出可能にする方法および装置を提供する。【構成】 疵のエリプソパラメータ特性を予め記憶させておき、表面のエリプソパラメータを測定して、記憶値と比較することにより疵の等級を付ける。また、エリプソパラメータと反射光の強度をあわせて分類することにより、疵の種類を判別する。2次元CCDカメラなどを用いると、広い範囲の視野が高速で検査可能となる。
請求項（抜粋）：
被検査面に偏光を照射して表面反射光のエリプソパラメ-タ(Ψ、Δ)を求め、あらかじめ求めておいた表面疵からの反射光の振幅比Ψと位相差Δ特性と比較して、等級付けすることを特徴とする表面疵の検出方法。
引用特許：
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