特許

J-GLOBAL ID：200903019249728924

固体撮像装置及び固体撮像システム

発明者： 高橋 秀和
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-337900
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141488
出願日： 2000年11月06日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 フォトダイオードの受光感度の低下や、光シェーディングの発生を防止する。【解決手段】 光を電荷に変換する光電変換手段と、前記光電変換手段を保護する保護膜と、前記保護膜上に接するように設けられ入射光を前記光電変換手段上に集めるマイクロレンズとを備え、前記保護膜の表面を平坦化し、平坦化した面に前記マイクロレンズを設ける。

請求項（抜粋）：

光を電荷に変換する光電変換手段と、前記光電変換手段を保護する保護膜と、前記保護膜上に接するように設けられ入射光を前記光電変換手段上に集めるマイクロレンズとを備え、前記保護膜の表面を平坦化し、平坦化した面に前記マイクロレンズを設ける固体撮像装置。

IPC (5件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H01L 27/146 ,  H01L 31/10 ,  H04N 5/335

FI (6件)：

G02B 3/00 Z ,  H04N 5/335 U ,  H04N 5/335 E ,  H01L 27/14 D ,  H01L 27/14 A ,  H01L 31/10 A

Fターム (33件)：

4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA33 ,  4M118CA34 ,  4M118CA40 ,  4M118CB14 ,  4M118DD04 ,  4M118DD09 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  5C024CX35 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31 ,  5F049MA02 ,  5F049MB03 ,  5F049NA17 ,  5F049NA20 ,  5F049NB05 ,  5F049QA01 ,  5F049QA11 ,  5F049SZ12 ,  5F049SZ13 ,  5F049TA12