特許

J-GLOBAL ID：200903019253833457

振動アクチュエータ装置

発明者： 菅谷 功 ,  那須 信義
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263259
公開番号（公開出願番号）：特開2001-086777
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】軸受けやスライダ材を用いずして、発塵や磁力等の影響を嫌う特殊環境下などでもグリスからのガスや軸受けからの摩耗粉の発生の心配がなく、しかも摺動抵抗の増加による効率低下の問題がない機構を備えた振動アクチュエータ装置を提供すること。【解決手段】振動アクチュエータは、平板状の圧電素子で構成される振動子4又は5と、駆動力取り出し部4a,4b,5a,5bとからなり、両振動子は、本体ケース1aのほぼ中央に配置される移動子6,7,8を挟持的に加圧保持及びカイドするように、本体ケース内に移動子の左右に配置され、2対の支持バネ2a,2b及び2c,2dは、それぞれ振動子4及び5の長手方向両端を加圧、支持している。また、加圧バネ3は、移動子の側面に振動子4を加圧すると共に、移動子の他の側面と振動子5とを本体ケース(ユニットケース)内壁を介して加圧している。

請求項（抜粋）：

周波電圧印加により振動を発生する圧電素子から構成され、前記圧電素子の一部が駆動力取り出し部として形成された振動子を備えた複数の振動アクチュエータと、前記振動アクチュエータの各振動子の前記駆動力取り出し部により挟持的に加圧保持及びガイドされ、相対運動をする相対運動部材とを備えたことを特徴とする振動アクチュエータ装置。

Fターム (28件)：

5H680AA00 ,  5H680AA01 ,  5H680AA12 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680BB20 ,  5H680BC08 ,  5H680CC02 ,  5H680DD01 ,  5H680DD15 ,  5H680DD23 ,  5H680DD39 ,  5H680DD40 ,  5H680DD53 ,  5H680DD73 ,  5H680DD82 ,  5H680EE07 ,  5H680EE10 ,  5H680FF04 ,  5H680FF08 ,  5H680FF33 ,  5H680GG02 ,  5H680GG11 ,  5H680GG23 ,  5H680GG24 ,  5H680GG27 ,  5H680GG34 ,  5H680GG41