機器監視・予防保全システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-259222
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】半導体製造装置に具備される排気ポンプや一般産業用の回転機器等の状態監視と、並びにその予防保全・計画を実現する。【解決手段】機器にその状態変化を二次的に捕らえることのできる多次元のセンサを配設し、前記センサ群からの情報を基に、前記機器の状態変化や保守管理を実現する管理機器を配設し、前記センサからの情報により、前記管理機器内に具備された機器の劣化診断と速度予測する計算手段にて、前記機器の状態の監視やその状態変化を予測し、さらにその結果を前記管理機器の表示手段にて開示し、前記管理機器にはこれらのデータを保存・蓄積するデータサーバ部を具備し、前記管理機器に具備した入力手段にて、この情報の編集・追加・登録をできるように構成する。【効果】機器の総合的な監視と劣化の診断・分析・判断を実施できるようにしたので、確度の高い機器の予防保全を実現できる。

請求項（抜粋）：

半導体製品のプロセス処理を行う製造装置に付帯する排気ポンプや、一般の産業プラント用の送風機等の回転機器等を監視、或いはこれら機器の計画的な保全を実現し、前記機器の監視と予防保全計画等を実施する機器の監視・予防保全システムにおいて、前記機器にその状態変化を二次的に捕らえることのできる多次元(多種類)のセンサを配設し、前記センサ群からの情報(収集されたデータ)を基に前記機器の状態変化や保守管理を実現する管理機器を配設し、前記管理機器には管理者や作業者に対して、前記機器の状態変化の監視や管理内容・項目を要求するためのガイダンス機能を有し、前記管理機器と前記センサ群との間に、前記センサ群からの情報を正規化或いは前記情報の加工機能を有する変換器で構成し、前記管理機器と前記変換器と前記センサ群とは電気的に接続され、前記センサからの情報により、前記管理機器内に具備された計算手段にて、前記機器の状態変化の監視やその劣化・故障及びその速度等の状態変化を把握し、さらにその結果を前記管理機器の表示手段にて開示し、前記管理機器にはこれらのデータを保存・蓄積するデータサーバ部を具備し、前記管理機器に具備した入力手段にて、この情報の編集・追加・登録をできるように構成してあることを特徴とする機器監視・予防保全システム。

IPC (2件)：

G05B 23/02 , H01L 21/02

FI (3件)：

G05B 23/02 R , G05B 23/02 T , H01L 21/02 Z

Fターム (5件)：

5H223AA05 , 5H223DD03 , 5H223DD05 , 5H223DD09 , 5H223EE06

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