金属あるいは金属酸化物被覆フィルムの製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-335303
公開番号（公開出願番号）：特開平6-299321
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【目的】本発明は、金属あるいは金属酸化物の被覆フィルムの製造工程において、被覆加工の直前に基材フィルムの塵埃を除去し、さらには放電を防止する良好なガスバリア特性を有する被覆フィルムを得るための製造装置を提供する。【構成】金属あるいは金属酸化物被覆フィルムの製造工程において、金属あるいは金属酸化物を被覆する基材フィルムの表面を、あらかじめ、1基以上の粘着ロールを用いて、基材フィルムの表面に付着している塵埃を、被覆する直前に連続的に除去し、さらには放電を防止した後、金属あるいは金属酸化物を基材フィルムに被覆する。

請求項（抜粋）：

金属あるいは金属酸化物被覆フィルムの製造工程において、金属あるいは金属酸化物を被覆する基材フィルムの表面を、あらかじめ、1基以上の粘着ロールを用いて、基材フィルムの表面に付着している塵埃を、被覆する直前に連続的に除去しながら、金属あるいは金属酸化物を基材フィルムに被覆することを特徴とする金属あるいは金属酸化物被覆フィルムの製造装置。

IPC (2件)：

C23C 14/02 , C23C 14/56

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-017176
特開昭60-131634
特開昭62-017176

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