特許

J-GLOBAL ID：200903019266000667

電気めっき装置

発明者： 山本 渡
出願人/特許権者： 株式会社山本鍍金試験器
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128601
公開番号（公開出願番号）：特開2002-327291
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 被めっき物の被めっき面に均一なめっき層を形成することができる電気めっき装置を提供する。【解決手段】 電気めっき装Eは、めっき液を貯水するめっき槽1、めっき槽1から溢れためっき液が流れ込む排水槽2、被めっき物であるシリコンウエハWを保持する陰極カートリッジ3、陰極カートリッジ3を保持しめっき液中に水平に対して所定の角度で傾斜した状態で挿入する回転軸4、回転軸4を支持し回転させる回転軸支持部5、シリコンウエハWの被めっき面に向けてめっき液を噴出する噴出口6、シリコンウエハWの被めっき面に対向して設置される陽極板7、陰極カートリッジ3と陽極板7との間に配置され、陽極板7から出る電気力線を修正し整える修正板8から構成される。

請求項（抜粋）：

めっき液中に浸漬された被めっき物の被めっき面と対向させて陽極板を配置し、前記被めっき面に向けてめっき液を噴出させながら、前記被めっき物と前記陽極板との間を通電して前記被めっき面をめっきする電気めっき装置において、前記被めっき物を保持する陰極カートリッジと、前記陰極カートリッジをめっき液内に挿入する軸と、前記軸を回転自在に支持する軸支持部と、前記軸を回転駆動する駆動装置とを有し、前記陰極カートリッジを前記めっき液中で水平に対して所定の角度で傾斜させた状態で、前記陰極カートリッジを回転させながらめっきするように構成したことを特徴とする、電気めっき装置。

IPC (6件)：

C25D 7/12 ,  C25D 5/08 ,  C25D 17/08 ,  C25D 21/10 302 ,  C25D 21/12 ,  H01L 21/288

FI (6件)：

C25D 7/12 ,  C25D 5/08 ,  C25D 17/08 A ,  C25D 21/10 302 ,  C25D 21/12 A ,  H01L 21/288 E

Fターム (14件)：

4K024AA09 ,  4K024BB12 ,  4K024CB01 ,  4K024CB02 ,  4K024CB04 ,  4K024CB08 ,  4K024CB12 ,  4K024CB14 ,  4K024CB21 ,  4K024CB26 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104DD52 ,  4M104HH20