特許

J-GLOBAL ID：200903019268809072

ウエハのエッチング方法およびウエハの回転式エッチング装置

発明者： 山本 栄一
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080627
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277482
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 エッチング液量を軽減することができ、ウエハ表面の均一なエッチング処理を可能とするエッチング方法の提供。【解決手段】 水平方向に回転可能なウエハチャックにウエハを載せ、ついで該ウエハチャックの上方に設けられたウエハ上面全体を蓋う天井板の略中央よりエッチング液をウエハ表面に供給しつつ、前記ウエハチャックと天井板の回転を同一回転数、同一方向に行なうことを特徴とする、ウエハのエッチング方法。

請求項（抜粋）：

水平方向に回転可能なウエハチャックにウエハを載せ、ついで該ウエハチャックの上方に設けられたウエハ上面全体を蓋う天井板の略中央よりエッチング液をウエハ表面に供給しつつ、前記ウエハチャックと天井板の回転を同一回転数、同一方向に行なうことを特徴とする、ウエハのエッチング方法。

Fターム (6件)：

5F043DD13 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE27 ,  5F043EE33 ,  5F043EE35