特許

J-GLOBAL ID：200903019269397665

光導波路ミラーの形成方法

発明者： 山田 高幸 ,  永田 真生
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-324095
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160955
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 平面精度を向上させると共に、量産時に所望の一定精度が得られるようにして、生産性の向上を図ること。【解決手段】 垂直方向に直進性の高い切り込み加工が行える加工法によって光導波路2Aの端部に島状領域9と後背領域10を形成し、島状領域9を倒し込んで後背領域10、或いは誘電体基板1に固定するようにした。

請求項（抜粋）：

誘電体基板上に形成された光導波路の端部に、前記光導波路の導波光を反射する光導波路ミラーを形成する光導波路ミラーの形成方法において、垂直方向に直進性の高い切り込み加工が行える加工法によって前記光導波路の端部に第1の間隙、及び前記第1の間隙の背後に位置する第2の間隙を形成することにより島状領域と後背領域を形成し、前記島状領域が前記後背領域に寄り掛かるように前記島状領域を倒し込み、前記島状領域を前記後背領域、或いは前記誘電体基板に固定することを特徴とする光導波路ミラーの形成方法。