特許

J-GLOBAL ID：200903019270892530

静電容量による赤外線検出方法及び赤外線センサ 及び赤外線撮像装置

発明者： 友藤 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003923
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193888
出願日： 1995年01月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】抵抗体の自己発熱を生ずることなく、正確に温度測定することが可能な新規な赤外線検出方法、赤外線センサ及び赤外線撮像装置を提供する。【構成】温度により異なる曲率に湾曲する板状電極は、空間を介して対向電極と配置される。電極間に電位差を生じさせる。板状電極に電荷が蓄積される。この状態で板状電極に入射する赤外線の波長が変化すれば、板状電極は異なる曲率に湾曲し、静電容量変化が生じ、それに相応して蓄積される電荷量が変化する。この蓄積電荷量の変化を測定すれば、赤外線の変化が検出される。板状電極が同一温度に保持されている間に異なる電位差を2度印加させれば、チョッパーを用いることなく物体の温度を測定することが可能になる。

請求項（抜粋）：

温度により異なる曲率に湾曲する板状電極と、前記板状電極と空間を介して配置した対向電極とを準備し、前記板状電極と前記対向電極に電圧を印加して前記板状電極に蓄積される電荷量の変化を測定することにより物体から輻射される赤外線の変化を検出することを特徴とする静電容量による赤外線検出方法。

IPC (5件)：

G01J 5/40 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/00

FI (3件)：

H01L 27/04 F ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公昭47-023236
  
• 特開平2-196457
  
• 特開平2-065482
  
• 特公昭43-004315