特許
J-GLOBAL ID：200903019271668412
弾性表面波素子を有する装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 栄男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-318863
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162690
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 信頼性が高く且つ小型化が可能な弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 表面波素子の弾性表面波が伝わる面5aと載置面3aとの間で空間19を形成するように、バンプ7a,7b、素子側シールリング10、マウント基板側シールリング11を介して圧電基板5が載置されている。バンプ7a,7bにより、圧電基板5の入出力電極6a,6bと取り出し電極14とが接続される。また、素子側シールリング10およびマウント基板側シールリング11により、空間19は気密封止される。
請求項（抜粋）：
載置面を有する載置台であって、一端が前記載置面に位置し他端が前記載置面とは異なる面に位置する取り出し電極を有する載置台、前記載置台の上方に、弾性表面波が伝わる面と前記載置面との間で空間を形成するように位置する弾性表面波素子、弾性表面波素子の入出力電極と前記取り出し電極の前記一端とを電気的に接続する接続部材、前記載置台と前記弾性表面波素子との間の前記入出力電極の外周に形成され、前記空間を気密に保つ封止部材、を備えたことを特徴とする弾性表面波素子を有する装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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