特許

J-GLOBAL ID：200903019287606980

荷電粒子の洗浄装置

発明者： 笹木 宣良
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-086131
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264501
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】被洗浄物表面の帯電を防ぐと同時に、超音波印加により吸着種の脱離を促進させるとともに、被洗浄物表面の両側に正と負の両方の電界を印加することにより、全ての荷電粒子を除去することを可能とする洗浄装置の提供。【構成】洗浄槽を2槽とし、被洗浄物を電極間に配置し、電極間に直流電界を印加するとともに、第1槽と第2槽で、印加電界を逆転させることで、正負の両方の荷電粒子を除去する。また、被洗浄物にアースを設けることで被洗浄物表面の帯電を防ぐと共に、さらに超音波を印加することにより吸着種の脱離を促す。

請求項（抜粋）：

互いに平行な電極対を1又は複数備え、洗浄液中に浸漬させ被洗浄物を前記電極間に配置して洗浄をなす少なくとも第1、第2の液槽を備え、前記第1の液槽では前記電極対間に所定の向きの電界を印加して前記被洗浄物を洗浄し、前記第2の液槽では前記電極対間に前記第1の液槽とは逆向きの電界を印加して前記被洗浄物を洗浄するように構成された洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/10

FI (2件)：

H01L 21/304 341 M ,  B08B 3/10 Z