特許

J-GLOBAL ID：200903019287613960

位置測定装置

発明者： ヴォルフガング・ホルツアプフェル
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (3件)： 江崎 光史 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-176321
公開番号（公開出願番号）：特開2007-010659
出願日： 2006年06月27日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：

【課題】 できるだけコンパクトな走査ユニットの構造を保証する位置測定装置を提供する。【解決手段】 走査ユニットが複数の格子構造と少なくとも1つのリフレクタ要素とを有する、走査ユニットと走査ユニットに対して少なくとも1つの測定方向に可動の寸法現示体との相対位置を検出するための位置測定装置において、-寸法現示体によって回折された光束が、走査ユニット内で、第1の格子構造を通過し、次いでリフレクタ要素に到達し、このリフレクタ要素によって寸法現示体の方向への逆反射が行なわれ、次に部分光束が第2の格子構造を通過し、次いで新たに寸法現示体に到達するように、走査ユニット内の要素が配設されており、-部分光束が最初と次に通過する際に、部分光束に対して一定のレンズ作用が生じるように、第1と第2の格子構造が形成されていることを特徴とする位置測定装置による。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

走査ユニットが複数の格子構造と少なくとも1つのリフレクタ要素とを有する、走査ユニットと走査ユニットに対して少なくとも1つの測定方向に可動の寸法現示体との相対位置を検出するための位置測定装置において、 -寸法現示体(10;110)によって回折された光束が走査ユニット(20;120)の方向に伝播し、ここで光束が第1の格子構造(24.1,24.2;124.1,124.2)を通過し、次いでリフレクタ要素(26.1,26.2;126.1,126.2)に到達し、このリフレクタ要素によって寸法現示体(10;110)の方向への逆反射が行なわれ、次に部分光束が第2の格子構造(24.3,24.4;124.3,124.4)を通過し、次いで新たに寸法現示体(10;110)に到達するように、走査ユニット(20;120)内の要素が配設されており、 -部分光束がそれぞれ通過する際に、部分光束に対して一定のレンズ作用が生じるように、第1と第2の格子構造(24.1,24.2,24.3,24.4;124.1,124.2,124.3,124.4)が形成されていることを特徴とする位置測定装置。

IPC (2件)：

G01D 5/38 ,  G01D 5/347

FI (2件)：

G01D5/38 A ,  G01D5/34 D

Fターム (16件)：

2F103BA43 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103DA01 ,  2F103DA12 ,  2F103DA13 ,  2F103EA05 ,  2F103EA07 ,  2F103EA17 ,  2F103EB02 ,  2F103EB15 ,  2F103EB16 ,  2F103EC03 ,  2F103EC08 ,  2F103EC14 ,  2F103EC15

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 国際公開第02/23131号パンフレット
  
• 欧州特許第387 520号明細書
  
• 欧州特許出願公開第1 347 271号明細書
  

審査官引用 (1件)

• 特開平2-266224