特許
J-GLOBAL ID：200903019289496686
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230026
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 環境温度に影響されずに、圧電素子の微小な破損などの故障を精度よく自己診断できる加速度センサを提供する。【構成】 圧電セラミックスから成る圧電体11の第1の面に容量検出用電極14、16を、第2の面に容量検出用電極15、17を設け、第1および第2の面の対向方向に、圧電体11を誘電体とする第1および第2の容量検出用電極対を構成し、第1および第2の容量電極対の各容量を比較可能としている。
請求項（抜粋）：
圧電セラミックスから成り、互いに対向する第1および第2の面を備えた圧電体と、前記第1の面に備えられた出力電極と、前記第2の面に備えられたアース電極とを有し、前記第1および第2の面の対向方向である第1の方向に印加される加速度に応じた加速度信号を前記出力電極から出力する加速度センサにおいて、前記第1および第2の面にそれぞれ2つの容量検出用電極を設け、前記第1の方向に前記圧電体を誘電体とする第1および第2の容量検出用電極対を構成し、第1および第2の容量電極対の各容量を比較可能としたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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