特許

J-GLOBAL ID：200903019290361786

粒子線装置

発明者： 松谷 幸
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-226199
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067137
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】 2次電子の検出効率を常に最大とし、また、粒子プローブの試料上の位置ずれを最小にすることができる粒子線装置を実現する。【解決手段】 電子ビームのエネルギEを変えた場合、検出器11のコレクタ12に印加する電圧が、2次電子の検出効率が最大となるように変えられる。この電圧の変化によりコレクタによる電界も変化し、電子ビームの電界による偏向量が変化する。メモリー21のテーブルには、電子ビームのエネルギEに対応した電子ビームの偏向量の補正値も格納されている。CPU18は、電子ビームのエネルギEが変えられると、それに対応した偏向量の補正値を読みだし、偏向器制御部10に送る。偏向器制御部10では、走査信号にこの補正値を加算し、偏向器7,8に供給する。この結果、コレクタ12による電界によって曲げられる分、偏向器7,8によって予め逆方向に偏向されるので、電界の強さが変化しても、電子ビームの走査領域は変わらない。

請求項（抜粋）：

粒子線を試料上に細く絞って照射すると共に、試料上の粒子線の照射位置を2次元的に走査し、試料への粒子線の照射にともなって発生した2次電子を電界によって検出器に引き寄せ検出するようにした粒子線装置において、粒子線のエネルギーに応じて前記電界の強さを変化させると共に、電界の強さに応じて粒子線の偏向量を変えるようにした粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502

FI (4件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/147 D ,  H01J 37/22 502 B