特許

J-GLOBAL ID：200903019290525320

レーザ光撮像装置及びキャップ部材

発明者： 澤木 昭弘 ,  白川 光一
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-207205
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022422
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】 正確な撮像を行うことが可能なレーザ光撮像装置を提供する。【解決手段】 レーザビームのモニタに顕微鏡MSを用いることとし、蛍光板2CLを物体面位置に配置する。顕微鏡MSは固定の同焦点距離を有しているので、この位置は一意的に決定する。紫外線等の放射が蛍光板2CLに入射した場合、その位置で物体面となる光が発生するので、かかるレーザビームの横断面像を固体撮像素子2Sで正確に撮像することができる。レーザビームの蛍光像は顕微鏡MSで拡大されるので、レーザビームのビーム径が小さい場合においても、これを正確に撮像することができる。

請求項（抜粋）：

蛍光板へのレーザ光の入射に応じて前記蛍光板から出射する前記レーザ光の蛍光像を撮像するレーザ光撮像装置において、前記蛍光像を拡大する顕微鏡と、前記顕微鏡によって拡大された蛍光像を撮像する固体撮像素子とを備え、前記顕微鏡は固定の同焦点距離を有し、前記蛍光板は、この蛍光板の像が前記顕微鏡を介して前記固体撮像素子上に結像する位置に配置されていることを特徴とするレーザ光撮像装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/08 ,  G01J 1/02 ,  H01S 3/00

FI (5件)：

G01B 11/08 H ,  G01J 1/02 G ,  G01J 1/02 L ,  H01S 3/00 G ,  G01B 11/24 K

Fターム (23件)：

2F065AA26 ,  2F065AA51 ,  2F065CC00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL24 ,  2F065PP24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS03 ,  2G065AB05 ,  2G065AB09 ,  2G065AB11 ,  2G065BA05 ,  2G065BA06 ,  2G065BB06 ,  2G065BB50 ,  5F072KK30 ,  5F072YY20