機械量センサ素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-060332
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261853
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】特定の部分にダイヤモンドを用いることにより、高温領域における動作が可能でかつ高ゲージ率Gを有する機械量センサ素子を提供する。【構成】機械量センサ素子を、機械量が印加される部材(ダイアフラム3、カンチレバー4、支柱5、空洞体6)と、前記部材の所定の位置に配置され、前記部材から印加機械量の作用を受けるダイヤモンドからなる抵抗体1とにより構成する。そして、ダイヤモンド抵抗体1の抵抗値変化を測定することによって各々の機械量を検知する。

請求項（抜粋）：

印加機械量を検知する機械量センサ素子であって、機械量が印加される部材と、前記部材の所定の位置に配置され、前記部材から印加機械量の作用を受けるダイヤモンドからなる抵抗体とを少なくとも備えたことを特徴とする機械量センサ素子。

IPC (5件)：

G01L 9/04 101 , C30B 29/04 , G01B 7/16 , G01D 5/16 , G01L 1/18

FI (5件)：

G01L 9/04 101 , C30B 29/04 D , G01L 1/18 , G01B 7/18 G , G01D 5/16 Z

前のページに戻る