特許
J-GLOBAL ID：200903019298538146

静電容量型圧力センサ

発明者：
工藤 高裕

工藤 高裕 について

, 
中村 公弘

中村 公弘 について


出願人/特許権者：
富士電機株式会社

富士電機株式会社 について


代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000149
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199726
出願日： 1999年01月04日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、寄生容量の影響を高精度に補正することのできる低コストで汎用性のある静電容量型圧力センサを提供することを課題とする。【解決手段】 基準容量となる固定コンデンサCcを設け、固定コンデンサと圧力検出用のコンデンサC1〜Cnを切換えて各静電容量を検出する。そして固定コンデンサCcに拠る結果から寄生容量による影響を補正する。また温度係数の異なる2つ以上の基準電圧Vrefと設定電圧Vth及び外部入力端子を設け、それらを任意に組合わせれるようにして、圧力センサ部1のコンデンサC1〜Cnの温度依存性をほぼ零に、固定コンデンサCcの温度依存成を大きくして温度を検出することで、簡単な構成で広い温度、静圧範囲に渡る正確な圧力検出を実現できる。
請求項（抜粋）：
電極とダイアフラムにより1つ以上のコンデンサを形成し、圧力又は差圧を該コンデンサの静電容量の変化として検出する静電容量型圧力センサにおいて、設定された入力電圧に基づいた一定の大きさの定電流を出力する定電流手段と、前記定電流手段に設定される前記入力電圧を出力する1乃至複数の入力電圧発生手段と、外部入力端子と、前記入力発生手段による入力電圧及び前記外部入力端子からの入力に基づく外部入力電圧の中から1つを選択して前記定電流手段に設定する入力電圧選択手段と、静電容量が固定の固定コンデンサと、前記コンデンサ又は前記固定コンデンサのうち少なくとも一つを選択するスイッチ手段と、前記スイッチ手段が選択したコンデンサの放電と、前記定電流による充電とを切換える充放電切換え手段と、前記スイッチ手段が選択したコンデンサの電位が設定電圧に達するまでの間充電を、該設定電圧に達したら放電を前記スイッチ手段に指示する電圧比較手段と、を備えることを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/12 ,  G01L 1/14
FI (2件)：
G01L 9/12 ,  G01L 1/14 L
Fターム (12件)：
2F055AA40 ,  2F055BB05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE25 ,  2F055FF02 ,  2F055FF11 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG12 ,  2F055GG32 ,  2F055GG36
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 起立椅子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-326410   出願人：松下電器産業株式会社
  • 腰掛介助装置用フレーム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-270388   出願人：東陶機器株式会社

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