特許
J-GLOBAL ID:200903019299077843
感光性樹脂層積層方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-165773
公開番号(公開出願番号):特開2004-009517
出願日: 2002年06月06日
公開日(公表日): 2004年01月15日
要約:
【課題】シート基板のサイズによらず、シート基板上の特定の位置に感光性樹脂層を精度良く圧着することができ、歩留りの低下を防止し得る感光性樹脂層積層方法を提供する。【解決手段】シート基板を予熱し、予熱後のシート基板の一面に感光性樹脂層を圧着する感光性樹脂層積層方法において、前記シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレート上に、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる前記一面が下方に向く状態で複数連ねて載置し、連続する複数のシート基板を、先行のシート基板後端における前記一面と後続のシート基板先端における前記一面とを連結した状態で、かつ前記加熱プレートと非接触な状態で保持しながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層圧着部へ搬送する、ことを特徴とする感光性樹脂層積層方法である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
シート基板を予熱し、前記予熱後のシート基板の一面に感光性樹脂層を重ね合わせて圧着する感光性樹脂層積層方法において、
前記シート基板を加熱すると共に気体を吐出することで前記シート基板を非接触状態で保持可能な加熱プレート上に、前記シート基板を、前記感光性樹脂層が重ね合わされる前記一面が下方に向く状態で複数連ねて載置し、
連続する複数の前記シート基板を、先行のシート基板後端における前記一面と後続のシート基板先端における前記一面とを連結した状態で、かつ前記加熱プレートと非接触な状態で保持しながら加熱し、そのまま前記感光性樹脂層を圧着する感光性樹脂層圧着部へ搬送する、ことを特徴とする感光性樹脂層積層方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (24件):
2H096AA28
, 2H096CA16
, 2H096CA20
, 4F211AD08
, 4F211AG01
, 4F211AG03
, 4F211AH33
, 4F211AK07
, 4F211AM30
, 4F211TA01
, 4F211TC02
, 4F211TD11
, 4F211TH01
, 4F211TH02
, 4F211TH06
, 4F211TJ13
, 4F211TJ15
, 4F211TJ30
, 4F211TJ31
, 4F211TN07
, 4F211TN24
, 4F211TN31
, 4F211TQ03
, 4F211TW23
前のページに戻る