特許
J-GLOBAL ID：200903019307251696
異物検査装置および方法ならびに情報処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-075504
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267862
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 不要な目視観察の要求を省略することができる異物検査装置を提供する。【解決手段】 レーザ検査部1310(1210)で検出され、かつ、顕微鏡部1320(1220)での観察に基づき許容されると判定された異物の情報を情報処理装置1100に格納し、ペリクル装着後のレーザ検査部1310で、格納されている異物の情報と一致する異物が検出された場合、この異物は許容されると判定し、顕微鏡部1320での観察を省略する。
請求項（抜粋）：
パターンが形成されたレチクル、および、レチクルにペリクル装着して組み立てられたペリクル付きレチクルの異物を検査するための異物検査装置において、レチクルの識別情報を取得するための識別情報取得手段と、被検面に付着している異物を検出し、異物が付着している位置を含む異物情報を取得するための異物検出手段と、被検面の指定された位置を観察して、その箇所に付着している異物により被検面の使用が妨げられるか否かを示す観察情報を取得するための観察手段と、上記異物検出手段および観察手段によって取得された情報を記憶するための記憶手段と、上記各手段から受け付けた情報を処理し、かつ、上記各手段を制御するための制御手段とを有し、上記制御手段は、組み立てられる前のレチクルの識別情報を上記識別情報取得手段により取得させ、これを受け付け、上記識別情報を取得したレチクルついて、付着している異物を、上記異物検出手段に検出させて、取得された異物情報を受け付け、異物が検出されたとき、上記異物情報が示す位置を、上記観察手段に観察させて、取得された観察情報を受け付け、上記観察情報が、被検面の使用が妨げられないことを示すとき、上記異物情報を上記識別情報と対応付けて上記記憶装置に記憶させ、組み立てられたペリクル付きレチクルの識別情報を上記識別情報取得手段により取得させ、これを受け付け、上記識別情報を取得したペリクル付きレチクルついて、付着している異物を、上記異物検出手段に検出させて、取得された異物情報を受け付け、異物が検出されたとき、上記識別情報と対応付けられた異物情報を上記記憶装置から検索し、検索された異物情報が示す位置と、今回受け付けた異物情報が示す位置との差異が予め定められた範囲内にあるとき、当該位置にある異物は、レチクルの使用を妨げないと判定することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
