特許
J-GLOBAL ID：200903019318632365
静電吸引型液体吐出ヘッドの製造方法、ノズルプレートの製造方法、静電吸引型液体吐出ヘッドの駆動方法及び静電吸引型液体吐出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
荒船 博司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-293418
公開番号（公開出願番号）：特開2004-136656
出願日： 2003年08月14日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】 ノズルに先端部から溶液を液滴として噴出するヘッドにおいて、ノズル内の電極に印加すべき吐出電圧を低減し、ノズルをマルチ化することである。【解決手段】 まず、成膜工程、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程を経て基板141上に複数の電極142,142,...を形成する。次に、電極142,142,...全体を被覆するようにして基板141上にレジスト層143'を形成し、レジスト層143'を露光・現像することによって、レジスト層143'をそれぞれの電極142に対応させて基板141に対して立設した超微小径のノズル103に形成するとともに、それぞれのノズル103内にノズル内流路145を形成する。【選択図】 図14
請求項（抜粋）：
ノズル先端から溶液を液滴として吐出する複数のノズルを有する静電吸引型液体吐出ヘッドを製造する製造方法において、
吐出電圧を印加するための複数の吐出電極を基板上に形成し、前記複数の吐出電極全体を被覆するようにして前記基板上に感光性樹脂層を形成し、前記感光性樹脂層を露光・現像することによって、前記感光性樹脂層をそれぞれの前記吐出電極に対応させて前記基板に対して立設するとともにノズル径が30μm以下のノズル形状に形成するとともに、それぞれの前記ノズル内に当該ノズルの先端部から当該吐出電極まで通ずるようにノズル内流路を形成し、前記複数ノズルに対応した溶液供給チャネルと接合することを特徴とする静電吸引型液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (8件)：
B41J2/16
, B05B1/14
, B05C5/00
, B05D1/04
, B05D1/26
, B05D7/24
, B41J2/06
, B41J2/135
B41J3/04 103H
, B05B1/14 Z
, B05C5/00 101
, B05D1/04 Z
, B05D1/26 Z
, B05D7/24 301T
, B41J3/04 103G
, B41J3/04 103N
2C057AF55
, 2C057AF93
, 2C057AG01
, 2C057AG29
, 2C057AG37
, 2C057AP13
, 2C057AP53
, 2C057AP55
, 2C057AP60
, 2C057BD05
, 4D075AA09
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075BB42Z
, 4D075BB46Z
, 4D075CA22
, 4D075CA47
, 4D075DA04
, 4D075DA06
, 4D075DB01
, 4D075DB13
, 4D075DB14
, 4D075DB18
, 4D075DB20
, 4D075DB31
, 4D075DC16
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC27
, 4D075EA06
, 4D075EA07
, 4D075EA21
, 4D075EA33
, 4D075EA45
, 4D075EB07
, 4D075EB12
, 4D075EB13
, 4D075EB14
, 4D075EB15
, 4D075EB16
, 4D075EB19
, 4D075EB20
, 4D075EB22
, 4D075EB32
, 4D075EB33
, 4D075EB35
, 4D075EB36
, 4D075EB37
, 4D075EB38
, 4F033AA01
, 4F033BA03
, 4F033CA07
, 4F033DA05
, 4F033EA01
, 4F033GA01
, 4F033LA03
, 4F033LA13
, 4F033NA01
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA34
出願人引用 (1件)
審査官引用 (12件)
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