特許

J-GLOBAL ID：200903019319589382

基板端縁洗浄装置

発明者： 北山 敦久 ,  岡本 伊雄
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057769
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273075
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 基板の裏面側において、気体吐出ノズルと基板保持部との干渉を避ける。【構成】 基板端縁洗浄具9は、基板保持部8と下側ノズルブロック18と溶剤吐出ノズル36とガスノズル35とを備えている。基板保持部8は、基板1を裏面側から保持する。下側ノズルブロック18は、基板1の裏面側に配置され、基板1の端縁に沿って移動可能である。溶剤吐出ノズル36は、下側ノズルブロック18に設けられ、基板保持部8によって保持された角型基板1の端縁裏面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する。ガスノズル35は下側ノズルブロック18に設けられ、溶剤吐出ノズル36によって溶解された不要薄膜及び吐出された溶剤を角型基板1の外方に吹き飛ばすように角型基板1の裏面に気体を吐出する。

請求項（抜粋）：

表面に薄膜が形成された基板の端縁を洗浄する基板端縁洗浄装置であって、前記基板を裏面側から保持する基板保持手段と、前記基板の裏面側に配置され、前記基板の端縁に沿って移動可能な裏面移動ブロックと、前記裏面移動ブロックに設けられ、前記基板保持手段によって保持された前記基板の端縁裏面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解するための裏面溶剤吐出ノズルと、前記裏面移動ブロックに設けられ、前記裏面溶剤吐出ノズルによって溶解された不要薄膜及び吐出された溶剤を前記基板の外方に吹き飛ばすように前記基板の裏面に気体を吐出する裏面気体吐出ノズルと、を備えた基板端縁洗浄装置。

IPC (7件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 361 ,  B08B 3/02 ,  B08B 11/04 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027