特許
J-GLOBAL ID：200903019319886948
多関節搬送装置,その制御方法及び半導体製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100065
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171778
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目的】 多関節搬送装置及び半導体製造装置の改善に関し、多関節搬送部の旋回半径の縮小化を図りつつ、その構造を工夫し、被搬送物の入れ替え時間の短縮化を図ること、及び、搬送先の装置のスループットの向上を図る。【構成】 多関節搬送装置は第1の搬送部15を一方向に伸縮する第1の多関節駆動部11と、第1の搬送部15と独立した第2の搬送部16を一方向に伸縮する第2の多関節駆動部12と、第1の多関節駆動部11の回動中心となる第1の固定軸13Aと第2の多関節駆動部12の回動中心となる第2の固定軸13Bとを有し、かつ、第1の多関節駆動部11に回転力を与える第1の駆動軸13Cと第2の多関節駆動部12に回転力を与える第2の駆動軸13Dとを有する共通駆動部13と、第1の駆動軸13C,第2の駆動軸13D及び共通駆動部13を個別に回動制御する駆動制御手段14から構成する。半導体製造装置は、被加工基板を出し入れする基板搬送手段が本発明の多関節搬送装置から成る。
請求項（抜粋）：
第1の搬送部(15)を一方向に伸縮する第1の多関節駆動部(11)と、前記第1の搬送部(15)と独立した第2の搬送部(16)を一方向に伸縮する第2の多関節駆動部(12)と、前記第1の多関節駆動部(11)の回動中心となる第1の固定軸(13A)と前記第2の多関節駆動部(12)の回動中心となる第2の固定軸(13B)とを有し、かつ、前記第1の多関節駆動部(11)に回転力を与える第1の駆動軸(13C)と前記第2の多関節駆動部(12)に回転力を与える第2の駆動軸(13D)とを有する共通駆動部(13)と、前記第1の駆動軸(13C),第2の駆動軸(13D)及び共通駆動部(13)を個別に回動制御する駆動制御手段(14)とを備えることを特徴とする多関節搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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