特許
J-GLOBAL ID:200903019320645741

偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 樺山 亨 ,  本多 章悟
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-010972
公開番号(公開出願番号):特開2005-202321
出願日: 2004年01月19日
公開日(公表日): 2005年07月28日
要約:
【課題】共振周波数のばらつきがあっても、共振周波数に関係なく所定の走査周波数で駆動できる偏向ミラー(振動ミラー)を提供する。【解決手段】本発明は、光ビームを偏向する可動ミラー202と、該可動ミラーと連結され回転軸心を規定するねじり梁208と、上記可動ミラーに回転トルクを発生するミラー揺動手段と、を有する偏向ミラーにおいて、上記ミラー揺動手段は、可動ミラー202の振れ角に応じて、第1の角度範囲で回転トルクを発生可能な第1のトルク発生手段(第1、第2の固定電極203、204等)と、第2の角度範囲で回転トルクを発生可能な第2のトルク発生手段(第3、第4の固定電極211、212等)とを有し、上記各角度範囲においてパルス状に駆動力を発生させ、上記可動ミラーをその共振周波数から外れた周波数領域で振幅駆動する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光ビームを偏向する可動ミラーと、該可動ミラーと連結され回転軸心を規定するねじり梁と、上記可動ミラーに回転トルクを発生するミラー揺動手段と、を有する偏向ミラーにおいて、 上記ミラー揺動手段は、可動ミラーの振れ角に応じて、第1の角度範囲で回転トルクを発生可能な第1のトルク発生手段と、第2の角度範囲で回転トルクを発生可能な第2のトルク発生手段とを有し、上記各角度範囲においてパルス状に駆動力を発生させ、上記可動ミラーをその共振周波数から外れた周波数領域で振幅駆動することを特徴とする偏向ミラー。
IPC (2件):
G02B26/10 ,  B41J2/44
FI (4件):
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 B ,  G02B26/10 F ,  B41J3/00 D
Fターム (9件):
2C362BA17 ,  2C362BA83 ,  2C362BA90 ,  2C362BB44 ,  2H045AB02 ,  2H045AB24 ,  2H045BA22 ,  2H045BA36 ,  2H045DA02
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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