特許
J-GLOBAL ID：200903019325051505
液晶表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-236029
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072558
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【構成】 液晶表示装置を構成する基板1の裏面にエッチング防止用保護膜12を初めに形成し、その後、基板1の表面に、ゲート配線・ゲート絶縁膜等の薄膜をそれぞれエッチングすることにより所定の形状に形成して積層構造の薄膜部2を設ける。【効果】 基板1の裏面は、エッチング防止用保護膜12が予め設けられているため、繰り返し行われるエッチング工程における影響を受けない。これにより、光を乱反射することにより曇って見える凹凸状の面が基板1に生じ難くなって、基板1の透明度が向上し、この結果、液晶表示装置の表示品位が向上する。
請求項（抜粋）：
基板の表面に形成された薄膜をエッチングにより所定の形状に形成してなる液晶表示装置の製造方法において、上記基板の裏面には、エッチング防止用保護膜が予め設けられていることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, H01L 27/12
, H01L 29/784
