特許
J-GLOBAL ID:200903019334332789

金属有機化合物ペースト及びこの金属有機化合物ペーストを使用した製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田澤 博昭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-302706
公開番号(公開出願番号):特開平5-114504
出願日: 1991年10月23日
公開日(公表日): 1993年05月07日
要約:
【要約】【目的】 金属有機化合物ペーストで形成した膜をレジスト塗布、エッチング、レジスト剥離工程を必要としない写真製版技術でパターニングでき、基板にダメージを与えず、従来通りの均質な膜が得られる金属有機化合物ペーストを得る。【構成】 金属有機化合物、有機高分子樹脂、光重合性単量体、光重合開始剤を含みこれらを混練して成る金属有機化合物ペースト5である。
請求項(抜粋):
導体パターンや抵抗体パターンを形成するプロセスで光照射部のみ化学変化を起こさせ、現像液に溶解させる感光性樹脂と、前記非光照射部を焼成することにより、金属膜、又は、金属と無機酸化物の複合膜を出現する液状の金属有機化合物と、前記感光性樹脂と前記金属有機化合物と混練する有機高分子樹脂とを備えた金属有機化合物ペースト。
IPC (3件):
H01C 7/00 ,  H01B 1/20 ,  H01C 17/06

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