磁気記録媒体の製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-270650
公開番号（公開出願番号）：特開平10-124869
出願日： 1996年10月14日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】蒸着により磁気記録媒体を製造する、蒸気拡散制御手段を備えた真空蒸着装置において、磁性材料の蒸着率を向上させる。【解決手段】蒸気拡散制御手段15の上端部に蓋体30を設ける。蒸発源11の始動時において、磁性材料10の温度が所定の温度となるまでは蓋体30を閉じ、磁性材料10の温度が所定の温度に達した後に蓋体30を開けて磁性材料10のベースフイルム3への蒸着を行う。

請求項（抜粋）：

真空雰囲気中で、長尺の可撓性基板を搬送する搬送手段と、前記基板が搬送される下方に配設された磁性材料からなる蒸発源と、該蒸発源を加熱蒸発させる蒸発手段と、前記蒸発手段と前記可撓性基板との間に配置され、前記蒸発手段により加熱蒸発した蒸気流の拡散方向を規制制御する筒状の蒸気流拡散制御手段と、前記蒸気流の、前記可撓性基板への入射角度を規制する入射角規制手段とを有する、前記可撓性基板上に磁性薄膜を形成せしめる磁気記録媒体の製造装置において、前記筒状の蒸気流拡散制御手段の前記可撓性基板に面した側の開口部に、開閉可能な蓋体を設けたことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。

IPC (3件)：

G11B 5/85 , C23C 14/24 , H01F 41/20

FI (3件)：

G11B 5/85 A , C23C 14/24 P , H01F 41/20

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